第130章 ‘点光’测试

第130章 ‘点光’测试 (第1/2页)

带着感光芯片回到平江后，康驰又重新投入到了繁忙的工作中，同时出于优先级考虑，相机的事情也只能往后排。
　　
　　时间一天天过去，距离何永说的一个月改良期限也越来越近了。
　　
　　终于，在11月13号的这天，何永的电话打过来了。
　　
　　“设备已经改造完毕，正在做实验前的最后检查工作，预计15号就可以开始进行测试了。”
　　
　　“嗯，我明天过来，这段时间辛苦你们了。”
　　
　　两人随后简单地聊了几句便结束了通话。
　　
　　随后康驰重新梳理了大唐重工的研发工作，确定在没有他的情况下，项目也能正常推进，然后便开始动身前往常春。
　　
　　两天后，常春光所的洁净实验室内，DPP-EUV光源项目组的研究人员，都已经全副武装地坚守在各自的岗位上，进行着测试前最后的一遍检查工作。
　　
　　康驰此时也站在控制室，隔着玻璃看着里面那台体积和普通卧室差不多大的光源设备，内心同样充满期待。
　　
　　只要把光源搞定了，那他光刻机的研制进度，最少能暴涨三分之一。
　　
　　加上平江已经组装完毕的镜片制造设备，以及正在攻关的工件台。
　　
　　EUV光刻机三大件合体调试时间，已经是指日可待了。
　　
　　何永对设备的主要参数，以及实验条件进行最终核对后，走到了康驰的身边，尽量压沉音量道：“各项参数都已经核查无误，可以开始了。”
　　
　　“那就开始吧。”
　　
　　“嗯！”
　　
　　这次的实验主要分两个阶段进行，
　　
　　第一阶段只对设备进行通电，然后喷锡气，测试磁场是否能够和预想中的那样，把锡气给一丝不落地吸到废料收集器中。
　　
　　随着何永开始实验命令下发后，实验室内外的工作人员立即开始行动了起来。
　　
　　设备通电，磁场加压……
　　
　　随着屏幕上的数据疯狂跳跃，数字最后定格在了三千高斯。
　　
　　这个磁场强度，和可控核聚变几十万高斯的磁场强度显然没得比，但两者的体积和目的不同，其实没啥可比性，
　　
　　对于EUV光源来说，只能要约束住等离子体和锡液碎屑就行了，再高的强度也只是浪费电而已。
　　
　　“第一次喷射准备，喷射！”
　　
　　随着工作人员按下按钮……似乎啥也没发生。
　　
　　嗯，这不是火箭发射，人根本就不可能通过肉眼，看到锡气的喷射……
　　
　　在用激光击打锡液的LPP方案中，为了产生稳定而高功率的光源，需要每秒发射5万次的激光，并且次次命中锡液。
　　
　　而在DPP方案中，则是通过正负极的通电‘点火’频率来实现，技术难度简单很多，同时因为光电开关的频率提升难度小，功率的提升空间就非常大了。
　　
　　真正的限制，是锡气的喷射频率。
　　
　　受限于物理结构，目前能做到喷射频率只有每秒2万次。
　　
　　既然不能提高喷射频率，康驰就直接大力出奇迹，提高每次的喷射量，每喷一次就电它个五次甚至十次，最大程度地把锡转换成等离子体。
　　
　　反正有磁场约束，不怕气体、碎屑和等离子体在电击中乱飞。
　　
　　即便如此，每秒2万次的频率也很夸张了。
　　
　　只能通过高速摄像机和各种分析仪器，回放实验数据，才可能观测到实验的结果。
　　
　　过了十分钟，测试的分析结果就出来了。
　　
　　“未发现锡元素外泄，全部锡气在0.8秒后冷凝成液态，顺利进入废料收集器！”
　　
　　听到分析员语气激动地念出结果，所有人的脸上都露出了喜悦的神色。
　　
　　这说明支撑这套设计方案中，最重要的磁场设计是可行的！
　　
　　所有人都已经能感受到，那胜利曙光照射在脸上的那丝暖意了！
　　
　　何永深吸了口气，压抑住内心的激动，沉声道：“继续下一个环节，10秒连续喷射。”
　　
　　

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